细微处见真章

高精度光学 和机械性质测量，例如几何形状、表面平整度、变形或层厚。

开发先进的光学装置和照明模块，完全适应不同客户需求。

先进的图像处理基于超高灵敏摄像装置和精密照明装置。

亮场和暗场照明确保了最高的缺陷灵敏度，可作为独立系统单独应用，或与摄像装置配套使用。

已进行优化调整，设计灵活性极高，基于自身的丰富经验，适用于从无尘室到严酷工业环境等各种场合。

符合 SEMI 标准的用户友好界面；可靠、精确的缺陷分类；可进行深入评估的网络。